最近,,,,,,福建永庚科技有限公司(以下简称“永庚科技”)从2022年底着手建设的生产基地,,,,,,最先投入试生产。。。。。它聚焦半导体芯片制造领域高端光刻介质质料及高端半导体洗濯系列质料的开发和工业应用,,,,,,乐成实现了半导体要害质料国产化的前半程目的。。。。。
这家企业由嘉庚立异实验室(以下简称“嘉庚实验室”)半导体要害质料项目群孵化而来,,,,,,从项目立项到效果转化落地、再到建设规模;;;笠凳迪止ひ祷,,,,,,用时不过4年。。。。。项目认真人、永庚科技董事长张爱强教授目的明确:“我们将在天下率先实现半导体要害质料效果的商业化推广及量产应用,,,,,,为我国半导体工业的自主可控和可一连生长孝顺实力。。。。。”
2022年5月28日,,,,,,嘉庚立异实验室与晶禾乐发500相助建设福建永庚科技有限公司及联合研究院,,,,,,配合运营高端电子化学品产品线,,,,,,并将一连举行新产品的研发。。。。。资料图
承接国家科技项目攻克难题
克日,,,,,,在永庚科技的半导体要害质料实验室里,,,,,,一名工程师正在开展高端半导体洗濯剂的配方研发和性能验证。。。。。他先容,,,,,,洗濯剂的配方经由一直调配优化,,,,,,对晶圆杂质的洗濯能力、对介质的保;;;ち涂骨质茨芰Φ榷际侵饕哪チ繁曜,,,,,,现在研发团队开发出的无氟、无羟胺高端半导体洗濯剂产品,,,,,,挣脱了供应链上要害原质料——羟胺要从德国巴斯夫公司入口的时势。。。。。
在集成电路芯片制造历程中,,,,,,高端光刻质料、高端半导体洗濯剂、蚀刻液等先进质料与焦点手艺仍掌握在日本及西欧企业手上。。。。。三年来,,,,,,张爱强团队承接国家科技项目,,,,,,乐成研发出这些现在在海内尚属空缺、还没有量产纪录,,,,,,却是芯片生产制造中必需使用的高科技质料。。。。。
作为半导体生产制造历程中最主要的工艺之一,,,,,,光刻决议着芯片的性能。。。。。与光刻胶一起配套使用的高端光刻介质质料,,,,,,现在在海内也尚无量产应用纪录。。。。。“这种焦点质料能镌汰99%以上的衬底反射光强度,,,,,,并消除光刻曝光工艺中的‘驻波效应’,,,,,,提高制造精度和区分率。。。。。”张爱强先容,,,,,,他们从手艺层面上攻克了行业现有产品一直保存的“释气”科技难题,,,,,,自主研发的高端光刻介质质料在各项要害手艺指标上已比肩甚至优于国际最先进产品。。。。。
针对生产线现实难点、痛点,,,,,,张爱强团队还开发出应用于LED芯片制造工艺的光刻胶去胶液,,,,,,在抗金属侵蚀性能及槽液寿命上有了突破性提升,,,,,,整体性能优于入口最优竞品。。。。。
嘉庚立异实验室。。。。。
立异“双基地”飞地相助模式
5月15日,,,,,,永庚科技位于邵武金塘工业园区的生产基地一期工程建设完工。。。。。张爱强按下了高端配方型湿电子化学品生产线的启动键,,,,,,宣布产品正式投入试生产,,,,,,妄想今年内实现批量供应,,,,,,年产能可达12480吨。。。。。
永庚科技生产基地试生产当天,,,,,,张爱强教授(左一)检查生产线装备。。。。。(受访企业 供图)
现在,,,,,,永庚科技已经与海内多家半导体龙头企业建设周全战略相助关系,,,,,,产品陆续在中芯国际、三安光电、厦门联芯等终端客户通过生产线现实应用性能验证。。。。。别的,,,,,,一条年产85000加仑的高端光刻介质质料生产线也即将投产。。。。。
从立项、建设项目团队,,,,,,到手艺突破、产品乐成研发,,,,,,顺遂实现工业化落地,,,,,,张爱强体现,,,,,,这当中有重大的挑战,,,,,,更有“亘古未有的成绩感”。。。。。
“这一工业化效果,,,,,,将在天下规模内率先实现半导体要害质料的商业化推广及量产应用。。。。。”张爱强先容,,,,,,这个项目也是嘉庚实验室首个接纳“飞地”相助模式的树模项目——除了永庚科技,,,,,,还孵化了厦门永庚新质料研究院有限公司(以下简称“永庚研究院”),,,,,,打造“生产制造(南平邵武市)+研发运营(厦门市)”双基地。。。。。现在,,,,,,两家工业化公司已获得凌驾2.4亿元的社会资源融资。。。。。
现在,,,,,,依托嘉庚实验室的先进研发平台、完善的基础设施以及高端人才,,,,,,永庚研究院一连研发半导体领域要害质料,,,,,,助力厦门市焦点半导体工业转型升级。。。。。
打造嘉庚实验室科技项目工业化规范
除了企业认真人、厦大兼职教授,,,,,,张爱强有另一个主要身份:作为嘉庚实验室副主任主管工业化平台,,,,,,致力“从实验室到市场”历程中的体制机制立异。。。。。
时间回溯到1982年,,,,,,张爱强从本科到博士,,,,,,十多年的名贵时光都在厦门大学化学系度过。。。。。作为中国著名电化学家田昭武院士的学生,,,,,,张爱强不但接受了严谨的基础理论培训,,,,,,更从导师身上传承了创立性头脑与科研要领。。。。。
随后,,,,,,他前往新加坡国立大学深造,,,,,,仅仅一年,,,,,,便在国际顶级专业期刊揭晓了4篇高质量学术文章,,,,,,获得一项国际专利,,,,,,涤讪了他在国际上的学术职位。。。。。以后,,,,,,他先后在多家国际着名半导体企业担当要职。。。。。
2020年,,,,,,已在外洋事情生涯了27年的张爱强,,,,,,怀着报效祖国和母校的情怀,,,,,,回厦开启全新的人生旅程。。。。。他应邀出任嘉庚实验室副主任及厦大兼职教授,,,,,,全力推动半导体高科技研发和工业化运营治理事情。。。。。昔时7月,,,,,,由他主导的嘉庚实验室半导体要害质料项目群正式立项开发。。。。。
“政府、学校、实验室都给予了最洪流平的支持,,,,,,体现出各方对推动科技效果转化、立异体制机制的刻意。。。。。”张爱强说,,,,,,他一手抓半导体要害质料项目,,,,,,一手抓以工业化为导向的立异型体制机制,,,,,,打造嘉庚实验室科技项目工业化的规范之一。。。。。
这几年,,,,,,嘉庚实验室一连探索工业转化的机制无邪性,,,,,,建设起了一套相对完善的以工业化为导向的立异型体制机制,,,,,,设计了特色化的商业模式,,,,,,并提供响应的工业转化计划,,,,,,蹚出一条具有“嘉庚实验室特色”的工业化生长路径。。。。。
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